第三个自动化水平是晶圆可以被自动地发送到设备上，并自动上载或下载。除了生产上的优势， HY5DU561622ETP-4-C自动化还带来了人类环境改造学、安全和成本方面的好处。这些好处在FOUP中一批更大直径晶圆的重量达到18~20磅(6.7—7.5 kg)时凸显出来。操作员有可能受伤，而摔坏一盒昂贵的晶圆造成的经济损失可能是非常惊人的。早期的传送系统采用机动的部件来模拟人的传送（见图15.  10）。被称为“自动引导小车”( Automated Guided Vehicle，AGV)的部件沿一个轨道移动，并将晶圆片匣发送到需要晶圆的机器上。另一种形式是“轨道引导小车”( RGV)，部件沿着处于工艺设备和储备间之间的轨道移动。这两种形式的优点是，在设备排列成行的生产线很容易做改装。

   另一个方法是使用高架轨道（也称为跨轨）。晶圆FOUP到达工艺设备区域（见图15.  11）后，由一个二级系统（通常是一个机械手）将它们移下高架轨道，并放置在设备的缓冲区。这种系统在那些设备分放在隔间而不是传统的线性布局时最有效。