将两个或多个工艺步骤放到同一个设备单元来做是另一种自动化水平。HY5DU561622ETP-4一般这种自动化水平称为“集簇”( clustering)。整个产业做“集簇”已有相当长的时间了。光刻胶的匀胶机在很早以前就和软烘焙模块，以及其他曝光显影设备组合在一起了。

   最近的集簇设计（见图15.9）已经受到来自技术和经济两方面力量的驱动。在技术方面，一些成簇的工艺产生更好的产品，如从刻蚀后到金属淀积前一直保持晶圆的清洁。另一项工艺上的优势是在同一个反应室内可以按次序淀积不同的材料。在这些情况下，淀积过程变得更好，因为晶圆在各个步骤间没有暴露到空气中。剽牛当然，在任何时候如果晶圆的加载／卸载步骤可以省掉，则清洁度和成本方面都会受益。对于真空工艺，当仅需一次抽真空即可以进行两个或多个工艺过程时，时间和洁净度因素都会受到影响。两个或多个有序的工艺过    图15.9三个工艺腔集簇设备程结合的簇称为“集成处理”( integrated  processing)[10]。

经济方面，如果某些类型的工艺集簇在一起以提高生产率，则称为“井行处理”( parallelprocessing)。

   尽管集簇设备具有显而易见的吸引力，但它们也存在缺点。对关键工艺的集簇处理，其优势很明确，但对于相同类型的工艺进行集簇所需要的互锁、电子系统和软件，都要比单一的设备更精密。而且一旦维修保养需要设备停机，就会造成相当大一部分生产能力的损失。对集簇的另一障碍是，集簇的模块可能无法由同一供应商提供。客户都愿意有一个负责任的供应商，而当设备的责任混在一起时，不同的供应商一起合作的效率往往很低。