劳动力也有直接劳动力与间接劳动力之分。直接劳动力包括那些处理和操作晶圆及设备的工人。HX1213T间接劳动力是那些支持人员，如领班、工程师、设施技术员和办公室工作人员等。具有讽刺意味的是，使用非常成熟的工艺设备，新的工艺精度和生产率的需求已经重回过产业对人员的要求，现在的操作员有更多的技术培训。像Intel这样的一些公司要求它们的所有制造工人进行技术等级教育。所有前述的，伴随着建立和维护设备的技师和工程师的更高等级，随着时间的推移已经导致劳动力成本提高。

   生产成本因素

   下表中列出了典型的成本因素对300 mm直径的晶圆成本的贡献（芯片良品率尚未测出）。各个百分比会随晶圆和特征图形尺寸、自动化程度以及工艺步骤的数量变化。折旧率在芯片制造行业是很高的，因为那些昂贵设备的有效寿命比较短。直接材料包括晶圆，其他项包插一般管理费用。