对于较大直径晶圆， OM6357EL/3C3/5A水平式反应炉是氧化设备的选择”。，

   对于更大直径的水平式反应炉来讲，也会有相应的工艺问题。其中一个是如何保证气流是层流状态。层流状态(laminar gas flow)是均匀的、无气体分离的、不产生不均匀反应的湍流。

   这些考虑导致了垂直式反应炉( VTF)的开发，它选择更高的生产量、更大直径工艺的配置㈦，在这种配置里，炉管被设计成垂直状态（见图7. 20），从底部或顶部装载晶圆，但炉管材料和加热系统与水平式反应炉一样（见图7. 21）。

   图7.21  垂直式反应炉截面图

   晶圆被装入标准的片架中，降低或升高到恒温区( flat zone)。这个运动过程中不会使片架刊擦到炉管内壁而产生颗粒。在这种结构里，可以最大密度地装载晶圆到炉管里；垂直式反廊炉的另…个好处是晶圆可以在炉管里旋转，这可以使晶圆的温度更均匀。垂直式反应炉和水平式反应炉拥有同样的子系统。