二氧化硅的掺杂可以改善相应的保护特性和流动性，或者用来作为掺杂源。HDMP-1032AG最早用于淀积氧化物的掺杂剂是磷。磷源来自于加入淀积气体流中的磷烷。合成的玻璃称为磷硅玻璃或PSG,，在玻璃内部，磷以五氧化二磷(P20，)的形式存在，使得该玻璃成为重化合物，或更精确地说，是二元玻璃。

   磷的作用有j重。加入的掺杂剂增加了玻璃对湿气的阻挡特性；可动离子污染物质被磷吸附，防止进入晶圆的表面，该反应称为“吸杂”( gettering)；第i个方面是流动特性的提高见图12.39），有助于在加热到1000℃左右时，玻璃表面的平坦化。磷的含量限制在大约8%（质量比）。高于这一水平，玻璃变得吸水和吸湿。湿气能够与磷反应，形成磷酸，侵袭下面的金属线。

   硼也经常通过使用硼烷(B，H6)而添加到玻璃中．、硼的作用也是增强膜的流动性（见图12. 39）。合成玻璃称为硼玻璃(BSG)，硼和磷也经常同时用于玻璃中，合成结果为硼磷玻璃( BPSG)。