异丙醇( IPA)蒸气蒸干法：一种近RT9179AGS未又被重新发现的烘干技术是醇类蒸f法，在烘于器的底部有一个液体IPA的储液罐。其上部充满蒸气（气相）。当一片表面带水的晶圆悬置j二蒸气中时，IPA将晶圆表面的水取代。IPA蒸气区域周围的冷却管使IPA蒸气中的水蒸气凝结，从而除去晶圆表面的水。另一种为直接取代型气相蒸于机( direct displacement vapor dryer)。在这一系统中，晶圆被直接从水池中拿出放人IPA蒸气中，IPA对水的取代在其中发生（见图5.34）。

   表面张力／马拉高尼( Marangoni)烘干：当晶圆从水中被慢慢

拿出水面时，水的表面张力产生一种特殊条件，张力吸走表面的

水，使晶圆变干。一种有机物，如IPA或N：的气流在晶圆和水的

界面出现，将使上述效果增强。IPA/N，的气流产生一种表面张力

梯度从而使得晶圆上的水从其表面流入水中。这一内部流动进一

步加强了晶圆去水的效果。在实际应用中，晶圆会从水池中拿出，或者冲洗池中的水会慢慢下降使晶圆露出水面.