随后进入温度收敛阶段。加在金属IXFM9N100条上的电流平缓上升,通过电流的级数收敛过程,使驱动电流的增长按设定系数下降,温度则逐步上升达到目标温度。标准JESD61中的建议是用差分热阻或类似的算法来控制温度的收敛,实际测试过程中发现,用差分热阻控制的电流增幅步进太大,温度无法在程序中顺利收敛,因此只得改变电流的控制算法。经过试验,采用收敛级数的方法使温度进行收敛较好。

当达到目标温度以后,程序进入下一轮恒定功率制阶段。计算初次进入时的输入功率和目标温度下的电阻值,然后由控制程序依据该输入功率调整电流的升与降,控制测试结构的输入功率保持恒定,在电阻值不变的条件下(也就是保持温度的恒定),温度可以在一个规定的小范围内波动,直至失效发生。在电流斜坡上升和温度收敛阶段,失效判据设为初始电阻值的5倍;而在恒定功率阶段,失效判据定为在目标温度下,初次测量的电阻值在以后的过程中增加到了测量值的⒓0%。恒温电迁移加速测试过程如图7.3所示。测试过程中的初始设置周期的典型特性如下:

    (1)初始电流斜坡期间(恒定斜坡率):最大值应使斜坡循环过程的应力不会对主要的应力过程产生明显影响(相反地,如果斜坡过程中金属条就失效了,结果则是纯粹的斜坡测试)。

   (2)收敛期间:小于或等于MTTF的2%。

   (3)实际失效时间:范围在0s至测试所允许的最大时间值之间。在初始斜坡期间或收敛周期内失效的样品应被归入应力过程内,当成0时间失效。最大时间范围内不发生失效的样品在做对数正态分布的数据填充时,需要进行检查。