典型电流密度范围
发布时间:2016/6/26 20:07:39 访问次数:995
典型电流密度范围:1×106~3×107A/cm2(10~300mA/um2);最大反馈控制时间:500ms(以保证测试有合理的精确度和足够的控制);最小反馈控制时间:50ms,IXFN100N10或者测试结构的热时间常数的几倍。
不同的恒定温度条件下,电迁移的失效时间不一样,如图7.4(a)所示。用反应离子刻蚀仪(RIE)刻去圆片表面的钝化层后,用扫描电镜拍摄的失效的测试结构图形如图7.4(b)所示。
典型电流密度范围:1×106~3×107A/cm2(10~300mA/um2);最大反馈控制时间:500ms(以保证测试有合理的精确度和足够的控制);最小反馈控制时间:50ms,IXFN100N10或者测试结构的热时间常数的几倍。
不同的恒定温度条件下,电迁移的失效时间不一样,如图7.4(a)所示。用反应离子刻蚀仪(RIE)刻去圆片表面的钝化层后,用扫描电镜拍摄的失效的测试结构图形如图7.4(b)所示。
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