在圆片级金属互连与接触可靠性的研究中,依据试验的目的不同,采用的方法分别有恒温、 IXFM42N20恒流和标准圆片级电迁移加速试验。这3种方法各有特点,恒温测试需要调节电流,以维持温度的恒定;恒定电流方式受氧化层厚度和金属线宽的波动的影响,会产生较大误差;标准圆片级电迁移加速试验,由于测试过程十分快捷,对缺陷的敏感度不高。

   标准圆片级电迁移加速试验方法常用于生产监测,比较金属化的质量和金属的完整性。它的测试方法是在金属线上施加高的电流密度,加速金属电迁移,温度应由产生的焦耳热提供。

   JEDEC61“Isothemal ElcG饣omigration Te钆Proccdurc”标准设计了恒温电迁移加速寿命测试方法,该方法以一维热流模型为基础,假设在一维方向进入的热流在测试线上均匀散发。测试由4个步骤组成,即初始测试、电流上升测试、温度收敛和维持恒定温度直至失效。

   初始测试的目的是为了确定电阻的初始值,在这之前需要确定电阻的温度系 数,用于在后续计算中根据温度确定电阻值。