台阶覆盖
发布时间:2016/6/13 21:56:17 访问次数:11800
台阶覆盖在金属化工艺中是一个很重要的参数,进入1.0um以下的工艺显得十分明显。HCNR201-000E如果台阶覆盖不好,将直接导致接触不好而使器件失效。一般来说,孔的形貌是影响台阶覆盖最主要的因素。
一般地,台阶覆盖率的定义有两种,一种为孔底部Al的厚度C与Al的厚度/ 之比,即台阶覆盖率=C//×100%;另一种为孔侧壁Al的最小厚度B与Al的厚度/之比,即台阶覆盖率B似×1O0%。这种台阶覆盖率的定义比较适合用于做实际的控制及考核。台阶覆盖如图2,18所示。提高台阶覆盖率的方法:对衬底进行溅射刻蚀,因为它可使孔角平滑,有利于Al的流动。对衬底进行加热,这种方法比较常见,一般的加热温度要大于250℃,台阶覆盖才会有明显的变化。
图2,18 孔中金属的台阶覆盖示意图
台阶覆盖在金属化工艺中是一个很重要的参数,进入1.0um以下的工艺显得十分明显。HCNR201-000E如果台阶覆盖不好,将直接导致接触不好而使器件失效。一般来说,孔的形貌是影响台阶覆盖最主要的因素。
一般地,台阶覆盖率的定义有两种,一种为孔底部Al的厚度C与Al的厚度/ 之比,即台阶覆盖率=C//×100%;另一种为孔侧壁Al的最小厚度B与Al的厚度/之比,即台阶覆盖率B似×1O0%。这种台阶覆盖率的定义比较适合用于做实际的控制及考核。台阶覆盖如图2,18所示。提高台阶覆盖率的方法:对衬底进行溅射刻蚀,因为它可使孔角平滑,有利于Al的流动。对衬底进行加热,这种方法比较常见,一般的加热温度要大于250℃,台阶覆盖才会有明显的变化。
图2,18 孔中金属的台阶覆盖示意图
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