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RS1O~s测试:瞬变电磁场辐射敏感度测试。2017/6/5 19:44:35
2017/6/5 19:44:35
RS1O~s测试:瞬变电磁场辐射敏感度测试。对于汽车及车载电子、电气零C0805C101J5RACAUTO部件产品,基本的EMS测试项目有:・符合⒙07...[全文]
真空镀铝 2017/6/4 18:35:21
2017/6/4 18:35:21
经过基区扩散和发射区扩散形成了llipn型晶体管的管Jb,在基区和发射区窗口制各能形成欧姆接触的内电极,发射极n+si掺杂浓度可达102。atom√cm3,而Al与⒈⒊接触时,当掺杂浓度高于5×...[全文]
磷主扩散2017/6/4 18:30:56
2017/6/4 18:30:56
磷主扩散(1)陪片摆放在磷源两侧,推入扩散炉恒温区,炉温1150℃,氮气流量0,5L/min,扩散时间在15m沆左右调整。FFSH40120ADN_F155(2)取出...[全文]
WLR  硅片级可靠性测试2017/6/3 22:31:50
2017/6/3 22:31:50
作为内建质量监控手段的一部分,硅片级可靠性测试(WafcrLevelReh乩ihy,WLR)在集成电路研发和生产中已经得到应用,目的在于将错误在更早的阶段检测出来,T74LS367A并加以控制。...[全文]
目前市场上出现的BGA封装,按基板的种类2017/6/1 20:39:09
2017/6/1 20:39:09
缺点:①结构及制作较QFP复杂,成本、价格相对较高。②对热较敏感,热匹配性较差。PCA9536D③焊球在封装体下面,焊接质量不能直观检测,检测要用X射线设备,检测费用较高。目前市场...[全文]
芯片互连技术2017/6/1 20:31:01
2017/6/1 20:31:01
芯片互连技术主要有引线键合(WB)、载带自动焊(TAB)和倒装焊(FCB)3种。早期还有梁式引线结构焊接,因其工艺十分复杂,成本又高,不适于批量生产,故已逐渐废弃。PBSS5540Z下面仅介绍W...[全文]
光刻工艺检测2017/5/31 21:50:16
2017/5/31 21:50:16
对光刻工艺的检测包括:掩膜版和硅片平整度检测;掩膜版和硅片上图形的CD(Ch0cdDimen⒍on)尺寸检测;光刻胶厚度及针孔检测;掩膜版缺陷及对准检测.1平整度检测...[全文]
埋层的制备2017/5/31 21:07:55
2017/5/31 21:07:55
埋层的制备为了减少双极型晶体管收集区的串联电阻,并减少寄生plllD管的影响,在作为双极型晶体管的收集区的外延层和衬底间通常需要制作埋层。首先在衬底上生长二氧化硅,并进行M054L...[全文]
连布线所占芯片面积已成为限制其发展的重要因素之一2017/5/30 11:56:35
2017/5/30 11:56:35
随着集成电路技术的发展,ULSI的集成度不断提高,互连布线所占芯片面积已成为限制其发展的重要因素之一。而随着集成电路性能的不断提高,PAM2301CAAB330电路丁作频率已进人GHz时代,互连...[全文]
钨的刻蚀2017/5/28 15:05:52
2017/5/28 15:05:52
因为金属Al的导电性极好,而且易以溅镀的方式生长,所以川是半导体工艺中最常用也是最便宜的金属材料。但因为溅镀方法的台阶覆盖性较差,OPA334AIDBVT当进入亚微米领域(即金属线宽低于0,5u...[全文]
氮化硅的干法刻蚀2017/5/28 15:00:40
2017/5/28 15:00:40
在ULSI工艺中,主要用到两种基本的⒊lN扌:一种是在二氧化硅层上通过LPCVD淀积弘N4薄膜,OPA244NA然后经过光刻和干法刻蚀形成图形,作为接下来氧化或扩散的掩蔽层,但是并不成为器件的组...[全文]
二氧化硅的湿法刻蚀2017/5/28 14:41:06
2017/5/28 14:41:06
由于HF可以在室温下与s02快速反应而不会刻蚀~Sl基材或多晶硅,所以它是湿法刻蚀sO的最佳选择。OM3805HE043EUM使用含有HF的溶液来进行s02的湿法刻蚀时,在上述反应过程中,HF不...[全文]
同步辐射X射线光刻系统的基本组成2017/5/26 21:25:47
2017/5/26 21:25:47
在电子以接近于光速做回旋运动时,会产生很强的电磁辐射。同步辐射为连续谱光源,如果取出其中特定波长范围的X射线,就可以用于曝光。SDCL1005C2N7STDF同步辐射X射线光刻系统的基本组成如图...[全文]
根据线条在掩膜中的结构对它的局部宽度进行调整2017/5/26 21:10:49
2017/5/26 21:10:49
光学邻近效应校正的种类有线条偏置法、形状调整法、加衬线法、微型灰度法。例如,SD42560E根据线条在掩膜中的结构对它的局部宽度进行调整,或者在线条两边或内部根据周围图形排布情况增加透光或不透光...[全文]
电子束光刻胶2017/5/26 20:55:54
2017/5/26 20:55:54
电子束光刻胶也是涂在衬底表面用来实现图形传递的物质,通过电子束曝光使得光刻胶层形成所需要的图形。通常用于非光学光刻中的光刻胶由长链碳聚合物组成。SC-20S在相邻链上碳聚合物接收电子束照射的原子...[全文]
玻璃基板的选择与制备2017/5/25 21:13:42
2017/5/25 21:13:42
铬版的质量同所用的玻璃衬底有着密切的关系。铬版的某些缺陷往往是由于玻璃基片表面的缺陷引起的,而这些表面缺陷在清洗过程中是无法消除的。ACD0900S3CTR它们可以使铬版膜蒸发不上,或者覆盖在表...[全文]
光刻工艺对掩模板的质量要求归纳2017/5/25 21:10:06
2017/5/25 21:10:06
为了得到好的光刻效果,掩模板的质量必须满足光刻工艺的一定要求。集成电A3967SLBTR-T路生产中,光刻工艺对掩模板的质量要求归纳有如下几点:①构成图形阵列的每一个微小图形要有高...[全文]
高灵敏度的光刻胶2017/5/23 21:35:44
2017/5/23 21:35:44
一般来说,在Ulsi中对光刻技术的基本要求包括5个方面:①高分辨率。随着集成电路集成度PMBT2222A的不断提高,加工的线条越来越精细,要求光刻的图形具有高分辨率。在集成电路工艺中,通常把线宽...[全文]
Si02作为保护膜时为什么需要采用低温工艺2017/5/23 21:32:12
2017/5/23 21:32:12
等离子体是如何产生的?PECvd是如何利用等离子体的?Si02作为保护膜时为什么需要采用低温工艺?目前低温⒊02工艺有哪些方法?它们降PMBS3904低制各温度的原理是什么?...[全文]
等离子体产生过程2017/5/22 19:52:06
2017/5/22 19:52:06
溅射(跏utte0现象是1852年在气体辉光放电中第一次观察到的,在20世纪20年代,I~allgm⒍r将其发展成为一种薄膜淀积技术。溅射工艺就是利用气体反常辉光放电时气体等离子化产生的离子对阴...[全文]
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