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玻璃基板的选择与制备

发布时间:2017/5/25 21:13:42 访问次数:518

   铬版的质量同所用的玻璃衬底有着密切的关系。铬版的某些缺陷往往是由于玻璃基片表面的缺陷引起的,而这些表面缺陷在清洗过程中是无法消除的。ACD0900S3CTR它们可以使铬版膜蒸发不上,或者覆盖在表面而黏附不牢,或者结合上却很难腐蚀掉。所以对玻璃基板进行严格挑选是获得完美铬膜的必要条件,是制取高质量铬版不可忽视的一环。

   基板玻璃的选择

   为保证铬版的质量,玻璃衬底必须满足如下要求。

   ①热膨胀系数:要求越小越好,对于白玻璃,要求≤9.3×106Kˉ;对于硼硅玻璃,要求≤4.5×106Kˉl;对于石英玻璃,要求≤0,5×10ⅡKl。

   ②透射率:在360nm以上的波长范围内,透射率在90%以上。

   ③化学稳定性:掩模板在使用和储存过程中,很难绝对避免与酸、碱、水和其他气体接触。它们对玻璃都有不同程度的溶解力。

   ④选择方法:首先是表面光泽,无突起点、凹陷、划痕和气泡,版面平整;其次要厚度适中、均匀。对于接触式曝光,为能承受接触复印压力,厚度应在3mm以上。铬膜与玻璃之问的黏附牢度与玻璃性质有关。据称,铝硼硅酸盐玻璃有极好的黏附性能。此外,玻璃的热膨胀系数与铬膜的热膨胀系数之间的不匹配也会造成膜的损伤,所以要尽量选配热膨胀系

   数一致的玻璃。现有的磨光玻璃和优质的窗玻璃都可以选用作为玻璃基板的材料。用不同试剂浸泡同种玻璃,浸泡21h,比较其损失的百分量,选择百分量小的


   铬版的质量同所用的玻璃衬底有着密切的关系。铬版的某些缺陷往往是由于玻璃基片表面的缺陷引起的,而这些表面缺陷在清洗过程中是无法消除的。ACD0900S3CTR它们可以使铬版膜蒸发不上,或者覆盖在表面而黏附不牢,或者结合上却很难腐蚀掉。所以对玻璃基板进行严格挑选是获得完美铬膜的必要条件,是制取高质量铬版不可忽视的一环。

   基板玻璃的选择

   为保证铬版的质量,玻璃衬底必须满足如下要求。

   ①热膨胀系数:要求越小越好,对于白玻璃,要求≤9.3×106Kˉ;对于硼硅玻璃,要求≤4.5×106Kˉl;对于石英玻璃,要求≤0,5×10ⅡKl。

   ②透射率:在360nm以上的波长范围内,透射率在90%以上。

   ③化学稳定性:掩模板在使用和储存过程中,很难绝对避免与酸、碱、水和其他气体接触。它们对玻璃都有不同程度的溶解力。

   ④选择方法:首先是表面光泽,无突起点、凹陷、划痕和气泡,版面平整;其次要厚度适中、均匀。对于接触式曝光,为能承受接触复印压力,厚度应在3mm以上。铬膜与玻璃之问的黏附牢度与玻璃性质有关。据称,铝硼硅酸盐玻璃有极好的黏附性能。此外,玻璃的热膨胀系数与铬膜的热膨胀系数之间的不匹配也会造成膜的损伤,所以要尽量选配热膨胀系

   数一致的玻璃。现有的磨光玻璃和优质的窗玻璃都可以选用作为玻璃基板的材料。用不同试剂浸泡同种玻璃,浸泡21h,比较其损失的百分量,选择百分量小的


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5-25玻璃基板的选择与制备

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