磷主扩散

   (1)陪片摆放在磷源两侧,推入扩散炉恒温区,炉温1150℃,氮气流量0,5L/min,扩散时间在15m沆左右调整。 FFSH40120ADN_F155

   (2)取出陪片,漂掉磷硅玻璃(用HF:H2O=卜10溶液),然后将其置于探针台上,使用晶体管特性图示仪测量`值,若有卩值,说明已形成了矿pll管,即有两个pn结。如果`在几到十几之间,合格;如果俨田或∫>209调整主扩散时间。

   (3)以合格的陪片工艺条件对硅片(正片)进行磷主扩散。将硅片摆放在磷源片的两侧,光刻窗口与源片相对,距离均匀一致;匀速缓慢地将石英舟推入扩散炉恒温区,进行主扩散。

   (4)扩散时间一到,将石英舟匀速缓慢地拖至炉口;停炉,停气。