衬底浓度的过分提高会使载流子的有效迁移率减小,使漏和源PN结的寄生电容增大, HCNR200-000E还会带来体效应的增大,这是应该避免的。在按比例缩小的理论中,提高衬底浓度的目的,是要使耗尽层宽度按比例缩小。但是只有耗尽层的横向宽度才是防止穿通的主要参数,而这种耗尽层的横向扩展可以通过沟道离子注入改变沟道表面浓度而得到控制,并无必要改变体衬底浓度。假定注入剂量不变,而注入深度按比例缩小,贝刂表面浓度按比例增大,衬底的掺杂浓度就可以不变。在实践中,由于注入以后还有一系列的热处理过程,要按比例缩小注入的深度是困难的,但显然衬底浓度并不需要按CE及CV理论要求以很大的比例增大。

   采用计算机辅助技术,开发适当的模拟程序,可以在确定的沟道长度、结深及电源电压的条件下,通过选择栅氧化层厚度、沟道注入浓度及衬底浓度,达到器件的阈值电压、驱动电流及速度的设计指标,并把短沟道效应(如阈值电压的下降亚阈电流的升高)限制在可接受的范围内。再由可靠性的要求(如衬底电流的数值)修正电源电压,直到高性能及高可靠性的要求均能达到为止。这个方法比较准

确,但也较复杂。更为简便的方法是研究类似CE、CV的简单明了的缩小理论,使电源电压的值满足阈值电压可控及高场效应足够小两方面的要求。这就是按比例缩小的准恒定电压(QCV)理论及其他的一些修正理论。

   准恒定电压等比例缩小规则是对CE规则和CV规则的折中,它使工艺尺寸和电压分别按不同的比例因子进行缩小,以获得一个比较满意的结果。准恒定电压等比例缩小规则为解决各类问题提供了一种可行的方案,因而在实际中得到了较好的应用。