CVD是建立在化学反应基础上的,要制备特定性能的材料首先要选定一个合理的沉积反应。AD7892ARZ-1用于CVD技术的化学反应主要有6大类,分别是热分解反应、氢还原反应、复合还原反应、氧化反应和水解反应、金属还原反应以及生成氮化物和碳化物的反应。

   热分解反应

   热分解反应是最简单的沉积反应,一般在简单的单温区炉中进行。首先在真空或惰性气氛下将衬底加热到一定温度,然后导入反应气态源物质使之发生热分解,最后在衬底上沉积出所需的固态材料。热分解反应可应用于制备金属、半导体及绝缘材料等。

   最常见的热分解反应有4种,包括氢化物分解、金属有机化合物的热分解、氢化物和金属有机化合物体系的热分解以及其他气态络合物及复合物的热分解。例如,以下反应均属于热分解反应。