热效应。金属膜HBB5-3/OVP-A的温度及温度梯度(两端的冷端效应)对电迁移寿命的影响极大。当J106A/cm2时焦耳热不可忽略,膜温与环境温度不能视为相同,特别当金属条电阻率较大时影响更明显。条中载流子不仅受晶格散射,还受晶界和表面散射,其实际电阻率高于该材料体电阻率,使膜温随电流密度增加更快。

   晶粒大小。实际的铝布线是一多晶结构,铝离子可通过晶间、晶界及表面3种方式扩散。在多晶膜中晶界多,晶界的缺陷也多,激活能小,所以主要通过晶界扩散而发生电迁移。在一些晶粒的交界处,由于金属离子的散度不为零,会出现净质量的堆积和亏损。进来的金属离子多于出去的,晶粒由小变大形成小丘,反之则出现空洞。特别在整个晶粒占据整个条宽时,更易出现断条,所以膜中晶粒尺寸宜均匀。