晶圆生产成品率受到多方面的制约。下面列H12D4890出了5个制约成品率的基本因素,任何晶圆生产厂都会对这些基本因素进行严格的控制。这5个基本因素的共同作用决定了一个工厂的综合成品率。

   工艺过程步骤的数量。要得到85,9%的累计晶圆生产成品率,每个单一过程的成品率必须高于⒛%。表3.14所示只是一个非常简单的11步工艺流程。ULsI电路需要300~ω0个主要工艺操作。每个主要工艺操作包含几个步骤,每个步骤又依序涉及到几个分步。能够在经过如此众多的工艺步骤后仍然维持很高的累计成品率,这一切显然应归功于晶圆生产厂内持续不断的成品率压力。在如此众多的工 艺步骤作用下,电路本身越复杂,预期的累计成品率也就会越低。