工艺步骤的增加同时提高了另外4个成品率制约因素对工艺中晶圆产生影响的可能性。 H12WD48125例如,要想在一个50步的工艺流程上获得75%的累积成品率,每单步的成品率必须达到99.4%。如果一个工序步骤只能达到50%的成品率,整体的累计成品率不会超过50%。每个主要工艺操作都包含了许多工艺步骤及分步,这使得晶圆生产部门面临着日益升高的压力。在表3.14所示的11步工艺流程中,第一步是氧化工艺。一个简单的氧化工艺需要完成几个工艺步骤,分别是清洗、氧化和评估。它们每一步都包含有分步骤。表3.15中列出了典型的氧化清洗工艺所包含的8个分步骤。每一个分步骤都存在污染晶圆、打碎晶圆或者损伤晶圆的可能。