要得到累计成品率,需要首先计算各工艺过程的成品率(Station yidd),即以离开单一工艺的晶圆数进H12D4840D入此工艺过程的晶圆数:成品率=离开工艺过程的晶圆数/进入工艺过程的晶圆数将各次工艺过程的成品率依次相乘就可以得到整体晶圆生产的累计成品率:晶圆生产累计成品率=成品率(过程―D×成品率(过程-2)¨・×成品率(过 程丁Ⅳ)°表3.14列出了一个I1步的晶圆工艺过程。

   表中第3列列出了各次工艺的典型成品率,累计成品率列在第5列。对单一产品来说,从各次工艺过程计算出的累计成品率与通过晶圆进出计算出的成品率是相同的。也就是说,对这一产品累积成品率与简单方法计算出的累计成品率是相等的。值得注意的是,即使单个工艺具有非常高的成品率,累计成品率也将随着晶圆通过工艺继续降低,现代的集成电路需要300~500步工艺,这对维持有收益的生产将是巨大挑战。

   成功的晶圆制造必须使累积成品率超过90%才能保持盈利和具有竞争性。典型的晶圆生产累计成品率在50%~95%之间,这取决于一系列的因素。计算出来的累计成品率被用于计划生产,或者被工程部门和管理者作为工艺有效性的一个指标。