杂质原子从一个原子间隙运动到相邻的另一个原子间隙,依靠间隙运动方式而逐步跳跃前进的扩散机理, AD7892BR-3称为间隙式扩散,如图2.5所示。O、Au、Ag、Cu、Zn、Mg、Fc和№等半径较小的重金属杂质原子,不易与硅原子键合,―般按间隙式进行扩散。

   这种杂质原子大小与Si原子大小差别较大,杂质原子进入硅晶体后,不占据晶格格点的正常位置,而是从一个硅原子间隙到另一个硅原子间隙逐次跳跃前进。镍、铁等重金属元素等是此种方式。

间隙杂质在间隙位置上的势能相对极小,相邻的两个间隙之间,对间隙杂质来说是势能极大位置,也就是说间隙杂质要从一个间隙位置运动到相邻的间隙位置上,必须要越过一个势垒,势垒高度叱一般为0.6~1。⒛V。

   间隙杂质一般情况下只能在势能极小位置附近作热振动,振动频率=1013/s~1014/s,平均振动能≈kΓ,在室温下只有0.胧6eV,就是在1⒛0℃的高温下也只有0.13cV。因此,间隙杂质只能依靠热涨落才能获得大于势垒高度的能量,越过势垒跳到近邻的间隙位置上。