湿度传感器法

   通过测量己校准的湿度传感器或集成电路芯片响应的方法来测定器件内部的水汽含量的。E13003其工作原理是预先将湿度传感器或集成电路芯片的敏感参数与程序1中的质谱仪所测试的水汽含量建立一一对照的关系,然后将其密封在器件封壳内,并与封装外部的引线端相连接,通过测试湿度传感器或集成电路芯片的敏感参数,即可了解器件内的水汽含量情况。

   试验设各

   (l)湿度传感器和能检测出含量为0,Os%±0.005%(3oOppm±5Oppm)的水汽含量的读出仪器。传感器安装在密封器件内部。

   (2)被测试器件上的金属走线,它们与器件之间用反向偏置二极管隔离,当被连接作为桥式网络一部分时,可检测出腔内0,2%(2O0Oppm)的水汽含量。芯片应以某种方法制冷,使芯片表面为腔内最冷点。器件先被制冷到露点以下,然后加热到室温,构成一个完整的试验周期。