湿度传感器应在已知水汽含量的气氛中校准,例如,可采用合适的盐饱和溶液或稀释液。

    应证明在封装密封后可检查传感器校准,或者打开器件封盖对传感器进行密封后的校准。E13009L湿度传感器应密封在器件封装中,或当有规定时,密封进同类型的模拟封装中。应按与试验器件相同的工艺、相同的芯片附着材料、相同的设备上、在相同的时间周期内进行密封。在等于或低于1OO℃之下,用测量温度传感器响应的方法来测量水汽含量。在传感器对程序3的适用性认可之前,必须确定它与程序l的对应关系。应证明封装环境和传感器表面不存在有机溶剂之类的任何沾污材料,这样的沾污材料可能会产生比实际湿度低的读数。

   GJB548规定的三种试验程序中,相比程序2和3,程序1不仅可以测定水汽含量,也可以得到其他气体成分的含量百分比。程序l和2是直接抽取封装器件内部的气体进行分析,数据准确性高,缺点是需要对样品进行穿刺破坏;程序3是将湿敏元件作为传感器密封进封装管壳中,对被测器件无破坏,但是数据准确性相对较低,而且仅能对装有湿敏传感器的器件进行测量。