样品检查一般要求

   下面从方向边、放大倍GAL16V8D-10LJNI数、观察角度和观察方向4个方面规定了对一般金属化层和钝化层台阶覆盖作sEM检查的一般要求。

   1)方向边

   对每个样品上的每一类钝化层台阶(接触窗口台阶或其他类型钝化层台阶)应检查其4个方向边,如4.19所示。

   2)放大倍数

   对一般金属化层和钝化层台阶检查时所用的放大倍数应在表⒋19确定的范围内。

   3)观察角度

   应在适于精确评价金属化层质量的某个角度观察样品。通常在0°~85°观察接触窗口、金属化层的厚度、附着性不佳和腐蚀性缺陷。

   4)观察方向

   应在适于精确评价金属化层质量的方向上观察样品。这包括在接触窗口和其他类型钝化层台阶的边沿检查金属化层。检查方向的选取应能清楚地观察每一边且能很好地显示钝化层台阶上的任何缺陷。这意味着观察角度可能与某一边垂直、平行或相互成一个斜角,以便能最好地分辨钝化层台阶上的任何缺陷(见图⒋123)。