载体气体收集法

   采用累积计算50℃时干燥的载体气体收集水汽的方法来测定器件内部的水汽含量的。E113.07A其工作原理是刺穿样品后通过流动的干燥运载气体将器件内气体携出,利用湿度传感器和电子积分检测器累积计算携出的水汽的绝对含量,并通过计算得到被测器件中的气体重量,然后修正得到水汽含量的相对值(ppm)。

   1)试验设备

    (l)一台电子积分检测器和湿度传感器,它能重复检测出被试封装内0.O3%±0,OO5%(300ppm±5oppm)的水汽含量。以Itg为单位的水汽绝对灵敏度除以计算得到的被试器件中的气体质量,然后修正到ppm,得到水汽含量值。

    (2)一个与积分检测器相连的刺穿箱或盒子,用来放置器件样品并在测量期间使其温度保持在100℃±5℃。刺穿箱应按刺穿装置要求夹持样品,刺穿装置打开封装的方式应能使包含的气体被运载气体携出或用驱气的方法排出,传感器和与刺穿箱的连接部分维持在50℃±2℃。

   2)试验程序

   器件应先进行密封试验,并且不应存在可能影响水汽含量测定精确度的任何表面沾污。器件插入刺穿箱后,使气体流动通过该系统,直至探测器输出达到稳定基线值。应在气体连续流动时,刺穿被测器件封装并收集释放湿气直至探测器再次达到基线读数。另一种方法是把气体输送到含有一只湿度传感器和一只压力指示仪的储备箱中,通过注入己知量的湿气或打开湿气含量已知的封装来校准系统。