控制图(con1rol c11art)是对过稆质量特忤值进行测定、讠己录、评估,从而监HCF4052M013TR察过程是否处于控制状态的一种用统汁方法没计的图。图上有屮心线(Cen1ral I'ine,CI')、控制限(Upper(lontrol l'irni1,U(∶I')和F控制限(l'ower Con1roH'in)it,I'(lI'),并有按时间顺序抽取的样本统汁量数值的描点序列,参见图16.10。UCI'与LCl'统称为控制线(controlhncs)c右控制图巾的描点落在U(∶I'lj I'(′I'之外或捕点在U(lI'与LtlI'之问的排列不随机,贝刂表明过程异常c世界L第一张控制图是美国休哈特(W,Λ。Sl)ewhart)在1924年5月16口提出的不介格品率夕控制图c控制佟l有一个很大的优点.即在图中将所描绘的点子与控制界限或规范界限相比较,从而能够直观地看到产品或服务质董的变化。

   基于ⅠE态分布(n()rmal dis1ribu1ion)假设的控制图是最常用的控制图。如果数据呈止态分布,则测量结果落在△3sign1a内的概率为99.73%。如薄膜沉积过程屮只有偶然波动,则膜厚成正态分布。如果除r偶然波动还有异常波动,则此异常波动将叠加在偶然波动形成的典型分布L,质壁特性值的分布必将偏离原来的典型分布。l,Nl此,根据典型分布是否偏 离就能判断异常波动是否发生,是否出现F异常因素・典型分布的偏离可由控制图检出。在薄膜沉积的例子巾.如果反应室的压力发生异常.导致薄膜的厚度分布偏离了原先的正态分布而向L移动,于是点子超出上控制界的概率大为增加,导致点子频频出界,表明过程存在异常波动。控制图的控制界限就是区分偶然波动与异常波动的科学界限。只有偶然因素没有异常囚素的状态,称为统计控制状态(statc in statis1ical contr。l),简称稳态,是控制阶段实施过程控制所追求的目标。