残留原子、离子污染物的去除(SC2):SC1可去除一些重金属和贵金属,但另一些不溶于碱性溶液的金属(如Al、Fe、Ca等),就该用酸性的SC2溶解去除。 S912XDT256F1MAG和SC1一样,起初浓度和温度较高;现今使用浓度为HCl:H202:H20比例为1叫:50或1:1:100及其他,温度35℃至室温。

   据报道,还有一种被叫做“IMEGClean”的清洗方法,可替代RCA。它是把高浓度的臭氧注入DI水中,形成03水,然后结合其他的化学品,组合成一个清洗污染物的方法。例如,03溶人H2⒏)l可替代SPM,去除有机物。接着用优化稀释的HF/HCl去除第一步的化学氧化膜。最后03水氧化去除轻的有机物、金属和颗粒;这一步也有报道川HCl/().,町

达到同样的效果;(),氧化有机物的同时,也氧化品片硅,形成薄层氧化膜保护硅ⅡⅡ。