会使膜的电阻率增大,使Al氧化发雾
发布时间:2016/6/13 21:49:31 访问次数:487
生产过程中会产生o2、N2及H2等残余气体,残余气体对膜的影响如下: HCF4052M013TR
(1)o,:会使膜的电阻率增大,使Al氧化发雾;
(2)N2:引起应力,产生龟裂和空洞,易产生电迁移;
(3)H2:易引起小丘。
具体改善的方法有:
(1)提高真空度;
(2)预除气;
(3)提高氩气的纯度;
(4)使用抽速快的泵及冷阱;
(5)提高溅射速率
生产过程中会产生o2、N2及H2等残余气体,残余气体对膜的影响如下: HCF4052M013TR
(1)o,:会使膜的电阻率增大,使Al氧化发雾;
(2)N2:引起应力,产生龟裂和空洞,易产生电迁移;
(3)H2:易引起小丘。
具体改善的方法有:
(1)提高真空度;
(2)预除气;
(3)提高氩气的纯度;
(4)使用抽速快的泵及冷阱;
(5)提高溅射速率
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