椭圆偏光法涉及椭圆偏振光在材料表面的反射。为表征SC2260R4反射光的特性,可分成两个分量:P和S偏振态,P分童是指平行于人射面的线性偏振光,S分量是指垂直于人射面的线性偏振光。菲涅耳反射系数'描述了在一个界面入射光线的反射。P和S偏振态分量各白的菲涅耳反射系数厂是各白的反射波振幅与人射波振幅的比值。大多情况下会有多个界 面,回到最初人射媒介的光经过了多次反射和透射。总的反射系数R'和R、由每个界面的菲涅耳反射系数决定。Rp和Rs定义为最终的反射波振幅与人射波振幅的比值。图16.5给出了椭偏仪的基本光学物理结构。已知人射光的偏振态,偏振光在样品表面被反射,测量得到反射光偏振态(幅度和相位〉,计算或拟合出材料的属性。