高分辨X射线衍射(HRXRD)以半导体单晶和半导体低维异质结构为主要研究对象, BAT54C是分析半导体材料及其结构的测试手段哪]。高分辨X射线衍射技术的发展与半导体工业的发展是紧密联系在一起的。最早的高分辨X射线衍射技术起源于⒛世纪⒛年代,利用岩盐和石英等天然晶体为分光晶体的双晶衍射仪,但限束质量差。⒛世纪50年代单晶硅和锗的成功制备,为X射线衍射提供了高结晶性的分光晶体,使高质量限束成为可能,同时还完成了高分辨X射线衍射从双晶系统到三轴系统的转变。异质外延技术的兴起,尤其是分子束外延(MBE)和金属氧化物化学气相沉积(MOCVD)成功制备出低维异质结构半导体材料对X射线衍射提出了更高的要求,极大地促进了高分辨X射线衍射技术的发展。

   1895年,德国物理学家伦琴研究阴极射线时发现了一种奇异的射线,其能量高、穿透力强、直线传播,且具有照相、电离以及荧光效应,被称作X射线⒓叨。1912年,另一位德 国物理学家劳厄用实验证实了X射线为一种波长为1010m的能够产生衍射现象的电磁波。X射线衍射的发现为晶体学及半导体材料的研究提供了一种新的测试手段。实验表明,真空中高速运动的带电粒子撞击到任何物质,均可产生X射线。一股的X射线发生装置构造如图⒈19所示。