在恒定功率模式中,IXFZ11N100整个测试过程刀Ge哎)都保持不变。目标温IXFZ11N100度对应的初始应力电流凡G钗)是指收敛时测试线上的应力电流,该电流用来使测试线的电阻值升高到对应的RiG甜)值。失效电阻R锚1是指电阻值等于或高于该值时,认为测试结构已失效的电阻值。横截面是指测试线的横截面积,单位为um2。

   实际失效时间(ATTF,Actual Timc To Fail)是指恒温测试时,在应力作用下,使测试结构的电阻值达到或超过失效电阻时所需要的时间,单位为s。收敛周期是指从退出恒定电流斜坡速率到收敛至目标测试温度所需要的时间周期。误差范围※η是收敛到目标测试温度的判据。收敛定义为:对一个阻尼或过阻尼的系统、欠阻尼但在几个特定循环内差值都保持小于误差范围的系统中,当计算所得的时

温度和目标测试温度的差值比误差范围的值要小时所对应的点。

由于所采用的是简单热模型,测试温度计算时的误差是难免的。另外,长测试线的末端、跨过薄氧化层的测试线、台阶覆盖处变化的横截面等地方都会有热梯度产生,这将影响电迁移的特性,也会对恒温测试结果产生相当大的影响。