超净间的等级划分
发布时间:2016/6/16 21:00:35 访问次数:10103
这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于常见的灰尘已经是小得微乎其微,但是OP249GSZ对于半导体器件而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在半导体产品的生产上,无尘是必须的要求。
根据单位体积尘埃数的不同,超净间分为不同的等级,如表3.9所示。以直径为0.5um的尘埃作为比较标准,在一立方英寸空间中大于0.5um的尘埃粒子数少于10粒,就称为10级洁净空间,大于0.5um的粒子数少于1000个,就称为1000级洁净空间。目前许多半导体生产线都要求洁净度为1级。表3.10列出了美国联邦标准209E中各净化间级别对空气漂浮颗粒的限制。
这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于常见的灰尘已经是小得微乎其微,但是OP249GSZ对于半导体器件而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在半导体产品的生产上,无尘是必须的要求。
根据单位体积尘埃数的不同,超净间分为不同的等级,如表3.9所示。以直径为0.5um的尘埃作为比较标准,在一立方英寸空间中大于0.5um的尘埃粒子数少于10粒,就称为10级洁净空间,大于0.5um的粒子数少于1000个,就称为1000级洁净空间。目前许多半导体生产线都要求洁净度为1级。表3.10列出了美国联邦标准209E中各净化间级别对空气漂浮颗粒的限制。
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