湿氧氧化。湿氧氧化中,用携带SG40281B1-000U-S99水蒸气的氧气代替干氧,氧化剂是氧气水的混合物,反应过程为:氧气通过95℃的高纯水,携带水汽一起进入氧化炉在高温下与硅反应。

   湿氧氧化相当于干氧氧化和水汽氧化的综合,其速率介于两者之间。具体的氧化速率取决于氧气的流量和水汽的含量。水温越高,则水汽含量越大,氧化膜的生 长速率和质量越接近于水汽氧化的情况;反之,如果水汽含量比较小,则更接近于干氧氧化。

   湿氧法由于氧化环境中有水汽存在,所以氧化过程不仅有氧气对硅的氧化作用,还有水汽对硅的氧化作用,

   湿氧氧化和水汽氧化都要用到高纯去离子水,如果去离子水的纯度不够高或者水浴瓶等容器沾污的话,就会使氧化膜的质量受到影响,为此将适当比例混合的高纯氢气和氧气通入氧化炉,在高温下先合成水汽,然后再与硅反应生成so2,就能得到高质量的sio2薄膜。