厂房设计中,现代的净化间都分为生产区和灰区(设各维护区)。生产区的净化等级为1级,绝大多数设备维护在1OO0级的服务区内进行。OP2177ARM-R2净化间下面都设有包括大量的设施(如泵、管道系统、电缆等)的区域。净化间必须有空气处理系统。空气进入到天花板内的特效颗粒过滤器,以层流模式流向地面,进入到空气再循环系统后与补给的空气一道返回空气过滤系统。位于天花板中的特效颗粒过滤器,要么是高效颗粒空气过滤器,要么是超低渗透率空气过滤器。

    净化间需要维持恒定的温度和湿度。一个1级0.3um净化间的典型的温度控制在⒛℃,相对湿度控制在佃%±10%。净化间的光源大都采用白光,然而在对白光敏感的材料可能暴露的所有房间

(如光刻区域)以及走廊均需要安装黄光灯。黄光源可以使用黄灯管或白灯管外加装滤光套,尽量采用黄灯管。黄光区周边的门和窗应有黄色滤光膜。用于灯管和窗户的黄色滤光膜应能阻挡250~笱Onm范围内的所有光线,并且光能损耗要小于⒛mJ/cm2,优先采用能阻挡所有250~650nm光线的滤光膜。