亮场显微镜：金相显微镜在表面检测中是一种广为应用的设备。术语金相( metallurgi【．al)显微镜，与在生物实验室中用到的标准显微镜不同。IRF5303生物显微镜能够使光线向上穿过并照亮透明样本。而在金相显微镜中，光线需要透过显微镜物镜照射到不明样本上，然后经样本表面反射回传，透过光学系统到物镜中（见图14. 22）。在白光照射下检测区域的图片能显示出表面颜色，它有助于定义晶圆表面上的特殊成分。滤光器的使用会改变表画颜色。

   典型牛产区域的显微镜会安装10×或15×的目镜，物镜范围从10×至100×。增加总的检测放大率（目镜放大率×物镜放大率）会缩小视场。视场缩小需要花费操作员更多的检测时问去检测晶圆。这样的结果放慢了检测过程。在检测大规模(I．SI)和超大规模(VI。SI)集成电路器件时，一个折中的放大率范围是200~ 300倍。

   在工业中，显微镜检测方法的典型用法要求操作员在观察晶圆E检查几个特定位置。此方法在机动平台下很容实现自动化。大多数自动化显微镜检测装置具有以下特征：在平台上自动将晶圆定位、自动调焦以及晶圆测试后的自动回复．当按下一个按钮时，操作员就可以指引每一个晶圆进到为合格晶圆指定的舟中或为几种不合格晶圆指定的某一舟中、很明显，显微镜检测方法是用来判断晶圆表面和薄层的质量以及图形对准的。

   正如在图形化工艺中的图像分辨率受限于光的波长·样，亮光检测也是一样的。在宽波段白光源下，理论分辨率的界限为0. 30 。用紫外线源和图形化I：艺能使此分辨率极限降至80 nm.