暗场测量：暗场照明是通过设置…个带有专用物镜（见图14. 22）的金相显微镜来获得的，在IRF5305PBF此物镜中，光线沿物镜外部直接照射到晶圆表面，它以一定角度照射晶圆表面，反射后向卜-穿过物镜中心，在目镜中，其“图片”效应主要反映．『所有平面的黑色区域。，任何表面不平整处，比如台阶或污染物，都会以亮线形式出现。暗场照明对任何表面不平整处的敏感度都要大于亮场。但它也有缺点：辨识表面本身已有不平整处的能力有限任何一个合格的表面凹凸看起未都和一个不合格的污染物一样。

   暗场缺陷分辨率可通过使用激光源10 1和复合光源来提高。

   共焦显微镜：用一般的显微镜来分辨图像细节时都要受到分散光束的影响，因为光束由不同表面反射或由晶圆表面上不同深度的平面反射后将产生干涉。共焦光源能使分散度最小化并通过限制返回光线至一个缩小的平面，来找出更重要的图像细节。这切要靠传递高强度的白光或激光束，通过高速旋转盘子（定位在光源和晶圆之间）上的孔来完成，使得仅仅来自检测平面的有益光线经孔反射回来。共焦系统还能够对亚微米尺寸进行成像¨。用于共焦系统的激光束会引起样品发光发热，经x-y扫描和计算机处理后的结果图，其分辨率在纳米范围内并能够显示透明样本层。