另一种显示掺杂区域的二维图形是浓度随深度变化的曲线。这种图形的纵坐标为杂质的浓度，ADS7888SDBVR横坐标为距晶圆表面的深度。图11.7给出了这种图形的一个例子。这个图例中所用的数据来自图11.6所示的掺杂示例。首先，画出了P型掺杂的浓度。示例中，纵深方向的5个层中刚好有5个P型杂质原子[见图11.7(b)]。其次，N型杂质的原子数也被标示出了。由于原子数随着深度的增加而减少，所画线段向右下方倾斜。在第4层，N型与P型杂质数量相当，两线交合。这是图形方式显示结的位置。对于实际的工艺而言，外来掺杂的浓度随深度的纵剖面图不是一条直线。它们是曲线，曲线的形状是由掺杂技术的物理特性决定的。曲线的实际形状在淀积和推进的章节中介绍．