设计规则
发布时间:2012/4/22 17:01:59 访问次数:570
在设计时,对于输入、输出端口,必须遵循KA3843一定的ESD规则。例如,在靠近栅的漏端容易产生ESD功率耗散。在ESD发生时,这一区域变成一个热源,并且可以扩散到接触孔。如果接触孔到结的距离不是足够大,接触孔将会出现尖峰( spi-king)。输出NMOS晶体管的设计将遵循以下规则:
①在漏端,N+结边缘到到接触孔的距离(A)应该大于5ym。
②在漏端的接触孔下面加入N阱,由于N阱的结深比N+结深,所以避免了从接触孔到衬底的尖锋( spiking)。
附加掩膜
在通常CMOS工艺中,淀积完Poly后进行LDD注入,在LDD注入之后生长Spacer(=氧化硅或氮化硅),然后再进行S、D注入,由于Spacer的阻挡作用,形成了LDD结构。LDD结构虽然改进了热载流子效应,但对提高抗ESD能力是非常不利的。
加入ESD版可以改进N管的抗ESD能力。其具体做法是在LDD工艺之后加一层ESD注入以提高原LDD区域的浓度,形成HDD,之后再生长Spacer,生长S、D。
在设计时,对于输入、输出端口,必须遵循KA3843一定的ESD规则。例如,在靠近栅的漏端容易产生ESD功率耗散。在ESD发生时,这一区域变成一个热源,并且可以扩散到接触孔。如果接触孔到结的距离不是足够大,接触孔将会出现尖峰( spi-king)。输出NMOS晶体管的设计将遵循以下规则:
①在漏端,N+结边缘到到接触孔的距离(A)应该大于5ym。
②在漏端的接触孔下面加入N阱,由于N阱的结深比N+结深,所以避免了从接触孔到衬底的尖锋( spiking)。
附加掩膜
在通常CMOS工艺中,淀积完Poly后进行LDD注入,在LDD注入之后生长Spacer(=氧化硅或氮化硅),然后再进行S、D注入,由于Spacer的阻挡作用,形成了LDD结构。LDD结构虽然改进了热载流子效应,但对提高抗ESD能力是非常不利的。
加入ESD版可以改进N管的抗ESD能力。其具体做法是在LDD工艺之后加一层ESD注入以提高原LDD区域的浓度,形成HDD,之后再生长Spacer,生长S、D。