单臂机械手集束型装备可调度性与调度

   问题描述 JS28F640J3D75

   晶圆按一定顺序逐个访问加工模块,晶圆经历的一定的加工顺序称为晶圆流模式。如 图6-1所示的晶圆流模式(2,5,6,1,2,1,⑴,表示集束型装备有7道工位,第1道工位有2个模块,第2道工位有5个模块等。生产运作采用批量加工的循环式生产方式,在系统由暂态达到稳态后,机械手搬运作业和加工模块加工作业处于循环生产方式。这类调度问题以最大化产能,即最小化生产周期为目标,日的是确定一个周期内一组机械手的作业序列。由于考虑了晶圆滞留时间约束,求解过程中可能存在不可行的作业序列,因此除了对调度模型的研究外,还要对问题的可调度性进行分析,进而提出相应的控制策略。