传统的yield model一个隐含的重要假设,是所有缺陷都是致命缺陷(killer defecO。现实中显然并非如此。 OMAP1510CGZG2R

   如图17.6所示,当特定大小的缺陷掉落在wafcr上时,不是在任何区域都会引起失效。为简化问题,假设缺陷是圆形,仅考察缺陷中心所在会引起线路短路的区域,可以发现,当缺陷中心掉落图中的阴影区域,将引起短路。

   由此可以定义,物理缺陷的屮心,所在会引起电性失效(开路或者短路)的区域为关键区域(chtical area)。实际产品的critical area如图17,7所示。

   分析产品各丁艺层的关键lx域曲线,结合△艺的缺陷大小分布(I)cfcct SizeI)istribution,DSD),可以基于critical area进行建模。这种yield model考虑了设计工艺的交互影响,可以有效地指导I艺的改善/设计的完善。