本章在首先研究集束型装各可调度性问题,建立了包括机械手和加工模块时序约束关系的数学规划模型。 JS28F256P30B95在此模型基础上,分析了机械手和加工模块周期性加工和搬运晶圆过程,从理论上证明了集束型装备可调度性的充要条件,并给出该条件的解析表达式;然后提出了一种基于线性规划模型和冲突控制策略的搜索方法。该算法使用增加的基本周期作为控制参数,以产生不同的搬运顺序,对每个给定的运送顺序,用线性规划模型求得问题的最优解和并且判断存在无冲突的可行解。在搜萦中,为了避免机器手活动的冲突,采用了左移和延展的冲突控制策略。利用52节的分解思想解决有滞留时问约束的多集束型装备优化调度问题,首先提出了包括加工模块加I约束和机械手搬运约束的调度模型,然后理论证明了该类调度问题的生产周期F界,并提出了基于分解思想的启发式调度方法。