根据SEMI标准E2196定义,集束型装备由晶圆加工模块和机械手搬运设各组成,广JS28F128J3D75泛应用于集成电路生产线。对某些加工过程而言,晶圆滞留时间约束非常严格。该约束要求当晶圆在加工模块完成加工后,必须在给定时间范围内从加工模块移出,否则该晶圆可能被加工模块内残余的化学气体和高温损坏判。由于集束型装备只有一个物料搬运机械手,且加工模块间没有缓冲空间,因此调度机械手搬运作业使晶圆及时离开加工模块(即满足晶圆的滞留时间约束)非常困难。在某些情况下,不存在可行调度,因此集束型装备首先保证存在可行调度方案,即问题的可调度性,然后才是求解最优调度。该调度问题类似于抓钩调度。但两者之间存在一些差别,如集束型装备存在并行加工和双臂机械手等。该调度问题也不同于带搬运时间的车间调度问题,主要在于车间调度问题强调工件排序优化,对机械手搬运作业通常采用启发式规则,不能保证机械手搬运作业的最优性阝^ql。针对集束型装备的滞留时间约束调度存在着两类方法:一类强调基于单臂机械手的Pull策略和双臂机械手的swap策略[10~1钊,研究这两种策略在满足何种条件是有效的,即提出可调度 性的充分必要条件,通过此可调度性条件,如果存在可行调度,给出基于机械手等待时间的调度算法,但不考虑不满足此可调度性条件的调度方案,使该方法应用范围有限;另外一类首先利用PctⅡ网建模并转换成事件图,再把事件图转化为对应的混合整数规划模型,利用CPLEX软件求解该模型可以得到最优调度方案,但该模型中约束条件表现为库所和变迁的约束,致使模型复杂,月^无法表示调度问题所需的机械手能力约束、加工模块能 力约束等,不适合工程的实际应用。