半导体制造业己成为国民经济的支柱产业,具有重要的战略意义。本章介H2019NL绍半导体制造业中集束型装备(αustcr Tools)涉及的相关加工工艺,以及集束型装备的复杂性和性能指标,并且对车间调度、机器人制造单元调度和抓钩调度进行简要介绍,阐述集束型装各调度的基本概念、资源和约束条件,最后介绍集束型装备调度问题的分类方法。

   半导体装备制造产业的战略意义

   半导体产业主要由四部分组成:半导体设计业、半导体制造业、半导体封装业和半导体测试业。半导体产业是当今信息技术产业高速发展的基础和原动力,已经高度渗透和融合到国民经济和社会发展的每个领域,其技术水平和发展规模己成为衡量一个国家产业竞争力和综合国力的重要标志之一。国际金融危机后,发达国家加紧经济结构战略性调整,半导体产业的战略性、基础性、先导性地位进一步凸显,美国更将其视为未来20年从根本上改造制造业的四大技术领域之首。