为有效地描述集束型装备调度问题,现做如下的基本定义与假设。 JS28F640J3D-75

   (1)输入装载室中的晶圆总是能够及时送到,输出装载室不存在饱和问题,完成加工的晶圆总能被及时运走。

   (2)晶圆搬运模块采用单臂机械手,每次只能搬运一片晶圆。

  (3)机械手在不同工位的搬运时间为欧氏搬运时间,且任意两个加工模块之间搬运时间包括工位到工位,以及工位到加工模块的时间,由于工位到加工模块的时间较短,因此在此忽略工位到加工模块时间。

   (4)加工模块之间无缓冲区,必须在前一个晶圆被搬运走后才能装载下一个晶圆。

   (5)加工模块每次最多只能加工一片晶圆,且加工过程不中断,加工在机械手将晶圆装载到加工模块后立刻开始。

   (6)晶圆在加工模块有滞留时间约束,即加工结束后,晶圆在加工模块内滞留时间有上限限制,超过该时间上限,晶圆就会变成次品。

   (7)机械手卸载时间都在一个生产周期内发生,且从输入装载室卸载晶圆为周期内发生的第一个卸载活动。

   已有本章参考文献[19~21]均有以上基本定义和假设,并在此基础上开展研究,其中集束型装备大气机械手专门负责输入和输出装载室晶圆的输入和输出,因此假设l是合理的;假设3考虑了机械手在加工空间内上、下、左、右旋转移动的实际情况,符合集束型装备在半导体制造生产线的实际应用情况;集束型装备调度问题具有周期性特点,可把任意机械手卸载活动的开始时问作为生产周期的开始,故假设7设定是合理的。为方便建模,定义如下的符号和变量。