考虑晶圆加工过程存在的一些不确定因素,如腔体故障,本章参考文献[93]首先分别建立引入故障、LPO2506I-334LC预防性维修的加工模块模型,并给出腔体和装各平均故障率的理论模型;然后考虑腔体周期性清洁维护的要求,建立引入周期性清洁维护因素的加工模块模型。为降低故障发生对生产率的影响,可以采取以下两方面的措施。

   (l)对装备进行预防性的维修活动,即对装备进行定期检查和维修,降低故障的发生,提高装备运行的可靠性,延长装备的使用寿命哪,羽。

   (2)对于已经发生的故障进行及时修复,要考虑故障发生及修复问题,以及为提高装备可靠性,进行相应的预防性维修。

   目前,合理的意外情况处理方法是采用在线调度方法。在线调度方法首先应能够适应多种类型晶圆混合加工的情况,能够为每一个新进入的晶圆安排机械手搬运路径;然后, 若出现加工模块故障,可以采用死锁检测算法判断是否发生死锁,并采用死锁恢复算法解

决死锁;最后确定系统是否需要重调度,以便产生新的加工活动,使生产继续进行下去。另外,晶圆的加工顺序是影响产能的囚素之一,应该合理安排晶圆的加工顺序并且要能避免死锁,因此死锁避免和优化晶圆加工顺序也是需要在线调度方法设计的重要问题。