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失效分析基本原则

发布时间:2017/11/13 20:16:14 访问次数:2109

    失效分析是一系列严谨、 SN74HC04PWLE逻辑性地解决问题的过程。任何随意的、缺乏缜密计划的分析可能破坏结果的一致性,导致错误的分析结果。囚此,失效分析必须遵守一定的原则。(D先非破坏性分析,后破坏性分析:这一原则始终贯穿于分析的每一个关键步骤。可靠性试验后失效的样品数目通常很少,电性表征完成后,常需进行外观检测和非破坏性分析,如X Ray,SAM。

   好坏样品的电性比较,失效分析尤其失效定位是非常关键的原则。电性表征时,由于实验室探针台和半导体参数测试仪的局限性或对失效产品、参数和参数程序理解的局限性,所测的电性特征有时无法完全模拟复杂、昂贵的自动测试机(ATE)的测试程序和设置。对好坏样品的电特性进行比较,分析差异,找出可能导致失效的特性,在后续失效定位时设置合理的偏置条件,激励失效线路,有效定位。

   失效定位尽可能定到最小的器件单元,越精准的失效定位,后续物理失效分析和化学分析成功发现失效机理的几率越高。

此外,进行失效分析还要考虑以下几个原则:

   (1)接件时先进行可行性分析,失效分析常常费时耗力,如果不值得或无法分析,就不要浪费宝贵的时间和资源。

   (2)要模拟、重现失效模式。

   (3)分析时遵循物理原理。


    失效分析是一系列严谨、 SN74HC04PWLE逻辑性地解决问题的过程。任何随意的、缺乏缜密计划的分析可能破坏结果的一致性,导致错误的分析结果。囚此,失效分析必须遵守一定的原则。(D先非破坏性分析,后破坏性分析:这一原则始终贯穿于分析的每一个关键步骤。可靠性试验后失效的样品数目通常很少,电性表征完成后,常需进行外观检测和非破坏性分析,如X Ray,SAM。

   好坏样品的电性比较,失效分析尤其失效定位是非常关键的原则。电性表征时,由于实验室探针台和半导体参数测试仪的局限性或对失效产品、参数和参数程序理解的局限性,所测的电性特征有时无法完全模拟复杂、昂贵的自动测试机(ATE)的测试程序和设置。对好坏样品的电特性进行比较,分析差异,找出可能导致失效的特性,在后续失效定位时设置合理的偏置条件,激励失效线路,有效定位。

   失效定位尽可能定到最小的器件单元,越精准的失效定位,后续物理失效分析和化学分析成功发现失效机理的几率越高。

此外,进行失效分析还要考虑以下几个原则:

   (1)接件时先进行可行性分析,失效分析常常费时耗力,如果不值得或无法分析,就不要浪费宝贵的时间和资源。

   (2)要模拟、重现失效模式。

   (3)分析时遵循物理原理。


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11-13失效分析基本原则
11-12CMP DFM

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