设备故障有可能中断或不中断生产过程,应根据具体情况给出合理的故障处理流程。LPO2506I-333LC设备自动清洗(Auto αcaning)是设备加工若干晶圆后,必须进行的清洗过程,可被认为是设备故障的特殊情况。

   针对设备出现故障的应急调度问题,本章参考文献[90]指出采用并行模块有利于提高生产率,也有利于减少对模块故障的敏感度。当一个并行模块出现故障时,其他并行模块仍能够继续完成后续晶圆的加工。但该文献没有阐述讨论在复杂的晶圆流模式下,调度方案是否会违反滞留时间约束,以及是否存在最优在线调度方案。本章参考文献p1]首先讨论并行模块出现故障的情况,新晶圆流模式可能造成加工负载的不均衡,进而违反晶圆滞留时间约束问题;选择可调度加工时间范围策略,可以满足所有的晶圆流式,同时针对加工时间的选择,采用加工平衡策略和虚拟加工模块技术。但虚拟加工模块技术由于集束型装备的加工模块数量有限,而受到一定的局限,但对具有工艺模块堆叠式结构集束型装备将不受限制。集束型装备的加工工序存在并行模块,当其中一个模块出现故障时,系统继续完成加工是可能的。故障响应的关键在于集束型装备如何从故障前的稳态,过渡到故障后的稳态。对于不同的故障情形,本章参考文献[呢]提出相应的控制策略,使得系统能够继续完成晶圆的加工。