swap策略是指机械手交换两个机械手实现晶圆的装载和卸载活动。为了FBMH2012HM331-T叙述方便,表示具有加工相同类型晶圆集束型装备调度问题的机械手搬运作业序列,其中R氵(9≤J≤Ⅳ)表示序列中第'项搬运作业,即将加工模块上加工完成的晶圆搬运至下一个工序对应的加工模块上,这包括一个连续的机械手活动过程:机械手在加工模块等待,当晶圆加工结束后,用空的机械手卸载该模块内的晶圆,机械手旋转180°后将另外一个机械手内晶圆装载到该模块,然后机械手移动到下一个工序。当机械手完成R中所有搬运作业后,系统完成一个生产周期,随后系统重复执行R并进入下一周期。由此,将R=(R0,Rl,・・・,RⅣ)称为Swap序列。

   基于swap调度策略,本章参考文献[37,38]提出最小公倍数(Lcast CommOn Mu1tipk,LcM)策略以解决并行加工模块调度问题,并证明生产周期的下界。本章参考文献[39]进一步将LCM策略推广到多集束型装各,并提出解决机械手冲突的LsT(LCM SwapTokcn)策略。

    ALD加工过程是典型的重入流程模式。对于这一加工过程来说,其晶圆流模式为(1,(1,1))2)。采用swap调度策略,本章参考文献[碉~绲]对实现ALD工艺的双臂集束型装备进行研究。本章参考文献[40]提出3晶圆周期性调度方法1基于此方法发现,在一个周期中包含三个局部循环和三个全局循环,使得系统永远处于瞬时状态而不能达到稳态。这 就导致系统不能达到生产周期的下界。为了改善系统的运行过程及降低生产月期,本章参考文献卩1]提出2晶圆周期性调度方法。用此方法调度系统时,在一个周期中包含两个局部循环和两个全局循环,并给出在一些条件下2晶圆周期性调度方法优于3晶圆周期性调度方法。为了提高系统的运行性能,必须减少在生产周期内加工晶圆的数目,本章参考文献[42]提出基于Swap策略的1晶圆周期性调度方法。