相对单集束型装备来说,多集束型装备构成及制造过程都要复杂得多。因此,FBMH2012HM800-T多集束型装各的调度也比单集束型装各要困难得多。目前,这个领域的研究己经取得了一些进展,下面综述Pull策略和swap策略在多集束型装备调度问题的研究进展。

   多集束型装备调度问题可以分解为分别求各个单集束型装备的调度问题,即可以利用单集束型装备的求解方法进行求解,这样可以减少计算的复杂性。本章参考文献[43]在不考虑机械手移动时间条件下,把集束型装备分解为各个等价的单集束型装各的调度,缓冲区模块对相邻的两个集束型装备来说分别视为分解设备的虚拟加工模块、虚拟真空锁,最后给出基本周期的计算及“无等待”机械手最优调度算法。本章参考文献[45]在[44]的基础上,分析机械手从真空锁/缓冲区模块取出晶圆至载入晶圆的过程,并给出该过程允许 的时间间隔最大值和最小值策略,用解析法得出单集束型装备的基本周期计算公式,用此公式计算各个被分解的单集束型装备(有虚拟的加工模块或真空锁)的基本周期,以基本周期最大值作为整个系统的基本周期。在每个晶圆放入加工模块后立即开始加工的假设前

提下,给出从第2个到第Κ个设备的机械手的起始动作开始时刻进行恰当延时的算法,使各个集束型装备有相同的基本周期,最终得到基于Pu11和swap策略的机械手搬运作业排序。在此基础上,给出缓冲区具有加工功能条件下系统的基本周期的计算公式,对各个机械手的起始动作开始时刻的延时做进一步修改。本章参考文献[43]给出本章参考文献[45]中系统在稳态下的计算基本周期下界的算法,推导达到下界这一最优调度的可调度条件。总之,本章参考文献[43~45]的研究不足之处是忽略机械手的移动时间,这对实际生产中预计生产节拍有不少的误差。但他们的工作提供了有价值的“分而治之”分解思路,该思路已成为求解多集束型装备调度问题的一个主要方法。