考虑单臂机械手的移动时间,本章参考文献[46]提出资源活动链的概念,分析在各M11B416256A-35T个单集束型装备中加工晶圆的分布规律,给出获得最优1晶圆调度的条件。在此条件下,给出―种计算复杂度为多项式的调度算法。作者认为系统的生产节拍不等于基本周期最大值,而是与缓冲区耦合和集束型装备的资源瓶颈有关,并说明系统的1晶圆调度取决于各个集束型装备的1晶圆调度节拍,以及所有集束型装备中晶圆的分布。但是该文献给出的最优1晶圆调度不能达到理论上生产节拍的下界,而且所提出的最优I晶圆调度的条件十分有限。本章参考文献[47]在本章参考文献[46]的基础上,提出庀晶圆周期调度方法,以期获得的生产节拍时间会更小。本章参考文献[48]研究缓冲区有l或2个模块的单臂两集束型装备调度问题。作者使用资源活动链方法量化分析集束型装备之间的耦合联系,发现多集束型装备中存在庀晶圆周期调度;通过分析给定调度时单个集束型装备生产节拍的性质,以及两集束型装备中晶圆的分布,推导在给定调度情况下两集束型装备缓冲区容量为1和2时的最小生产节拍闭合表达式;提出两集束型装各的最优佬晶圆周期调度算法,而且该算法的时间复杂度为多项式时间。显然,当缓冲区容量为2时,由于可选调度增加,其最优调度比容量为1时复杂,此时在加工晶圆数量在两集束型装备中有三种可能的分布方案,相应地最小生产节拍时间也可能有三种情况。