按照区分问题的关键因素――晶圆加工时间,将集束型装备调度问题分为三类:有限RTL8212F-GR等待(IntcⅣa1)、无等待(No Wait)和无限等待(Frcc)。无限等待是指晶圆在加工模块上完成加工后,必要时可以一直停留在加工模块上,直到机械手空闲时完成搬运,即晶圆在加工模块上的等待时间为无限长,该类加工时间约束最松弛。无等待是指晶圆在加工模块上的加工时间达到给定值时,必须立刻通过机械手从加工模块上搬走,否则会产生废品,即不允许已经加工完成的晶圆停留在加工模块上。这类自动化生产系统在高精度PCB电镀处理、食品加工和钢铁冶炼中较为常见。为了尽量避免晶圆在空气中被氧化、污染,或者为保持晶圆的加I温度,生产系统要求晶圆的加工作业必须连续进行,加工作业之间不能有等待时间。由于有无等待约束,一旦晶圆进入系统的时间确定,晶圆在每个加工模块上的加工开始和结束时间、搬运作业的开始和结束时间就都可以被确定。有限等待是指晶圆在加工模块上完成加工后,可以在有限时间范围内停留在加工模块上。

   本书将这一约束称为晶圆滞留时间约束。这类调度问题除了要确定晶圆加工排序和机械手搬运作业排序外,还要确定晶圆在每个加I模块上的实际加工(停留)时间。由于晶圆实际加工(停留)时间可以是连续区间内的任意值,这类问题已被证明是NP-hard问题

Trave卜mctric∈“,GE)是指机械手在任意两加工模块移动的速度,这个速度可以是常数(Constant)、递增(Additivc)和欧氏(Euclidca11)。part-typc表示加工类型,pa⒒-b/pe=SP是指单一类型晶圆加工,pa⒒-t”e=MP表示多种类型晶圆加工;prod-stratcgy∈

(cyClic一廴a11,CRM)是生产策略,qclic攻代表周期性生产策略,a1代表周期性生产策略和非周期性生产策略的混合,CRM代表混合晶圆加I策略。